Felix Schubert wurde am 15. September 1988 in Karl-Marx-Stadt (heute Chemnitz) geboren. Von 2006 bis 2011 studierte er an der Technischen Universität Bergakademie Freiberg und schloss im Dezember 2011 sein Studium mit dem Titel des Diplom-Ingenieurs für Elektronik- und Sensormaterialen ab. Im Januar 2012 begann er daraufhin seine Promotion an der Technischen Universität Dresden im Promotionsstudiengang Elektrotechnik. Ende 2015 reichte er seine Dissertationsschrift an der Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik der Technischen Universität Dresden ein und verteidigte seine Forschungsergebnisse im Rahmen einer Disputation, nachdem er zuvor sein Rigorosum erfolgreich bestanden hat. Die Veröffentlichung seiner Arbeit stellt den Abschluss seines Promotionsverfahrens dar.
Ziel dieser Arbeit ist die Herstellung hochqualitativer AlGaN/GaN-Heterostrukturen mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE) für die Anwendung in Transistoren mit hoher Elektronenbeweglichkeit (HEMTs). Eingangs wird das verwendete MBE-System systematisch charakterisiert. Dabei werden...
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